Das Prinzip des „miniaturized calorimetric mass flow sensor“ wurde im Institut für Mikro- und Informationstechnik der HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT entwickelt.
Miniaturisierte kalorimetrische Strömungssensoren weisen eine ausgezeichnete Dynamik auf. Bestimmend für die Dauer der Meßintervalle sind dabei die Zeitkonstanten für die thermische Equilibration des vorbeiströmenden Mediums mit dem Sensor. Mit der geringen involvierten Masse der Sensoren lassen sich in Gasen daher ohne Probleme Meßintervalle im Bereich unterhalb von 1ms erreichen.
Neben den guten dynamischen und energetischen Eigenschaften handelt es sich bei den betrachteten Sensoren um sehr robuste Systeme. Eine Messwertverfälschung durch die Erschütterung des Sensors, hervorgerufen etwa durch das Umfallen des Sensors oder einen Schlag auf das Gehäuse, tritt bei kalorimetrischen Strömungssensoren, im Gegensatz zu mechanisch wesentlich empfindlicheren Ultraschallsensoren, nicht auf.
Auf Grund der vielen positiven Eigenschaften miniaturisierter kalorimetrischer Strömungssensoren kommen derartige Sensoren dort zum Einsatz, wo hohe Anforderungen an Genauigkeit und Zuverlässigkeit gestellt werden. Wichtige Einsatzgebiete sind hier die Luftfahrtindustrie sowie die Medizintechnik. Weitergehende Informationen zum Sensorprinzip und Einsatzgebiet findet man unter:
INSTITUT FÜR MIKRO- UND INFORMATIONSTECHNIK DER HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT E.V.